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300mm晶圓盒傳送存儲(chǔ)系統(tǒng) 參考價(jià):面議
300mm 晶圓盒傳送存儲(chǔ)系統(tǒng)主要由晶圓盒FOUP載入系統(tǒng)LoadPort、晶圓盒緩存架Shelf、機(jī)械手Robot、全密封式FIMS、氣動(dòng)系統(tǒng)以及電控系統(tǒng)等部...300mm (氮?dú)? 晶圓盒傳送存儲(chǔ)系統(tǒng) 參考價(jià):面議
300mm (氮?dú)? 晶圓盒傳送存儲(chǔ)系統(tǒng)主要由晶圓盒FOUP載入系統(tǒng)LoadPort、晶圓盒FOUP緩存架Shelf、機(jī)械手Robot、全密封式FIMS、氮?dú)獯?..(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)